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  ·壓力傳感器的設(shè)計(jì)制造與應(yīng)用


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上傳時(shí)間:2012-02-15 12:23:20

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作者:孫以材等編著  頁數(shù):615  出版日期:2000  
簡介:河北省教育委員會學(xué)術(shù)著作出版基金資助:本書主要介紹壓阻型壓力傳感器的原理、彈性力學(xué)應(yīng)力計(jì)算及芯片版圖設(shè)計(jì);介紹從硅片制備、半導(dǎo)體工藝、微機(jī)械加工到芯片封接與引線;介紹壓力傳感器的技術(shù)特性、選用及各種熱.......
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